微波器件与集成电路研究室是国内最早开展化合物半导体器件和电路研究的单位之一，承担了多项国家“863”、“973”、自然科学基金项目和中国科学院创新项目研究，取得了一系列具有影响力的研究成果。研究室下设“4英寸化合物半导体工艺线”、“微波单片集成电路（MMIC）设计和测试”、“微波模块研究”、“光电模块研究”四个科研平台。成熟的4英寸GaAs器件和电路工艺、2英寸InP器件和电路及GaN HEMTs成套工艺流程为高频大功率微波器件研制提供了可靠的技术保障，完备的微波电路设计环境和高频测试系统为微波毫米波集成电路设计创造了良好的科研环境；成套的模块制作设备，为开展微波射频模块研制奠定了基础。
研究室如今的主要研究方向包括：GaAs基和InP基微波毫米波半导体器件和电路研制、微波大功率GaN基器件和电路研究、微波单片集成电路设计和测试技术、超高频数模混合电路研究、微波混合电路和模块、光电器件与高密度集成技术。 [1]
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